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1月26日，中科慧遠(yuǎn)視覺技術(shù)（洛陽）有限公司公布了最新成果，基于自研的仿人缺陷成像技術(shù)和深度學(xué)習(xí)缺陷分析技術(shù)，開發(fā)了大口徑光學(xué)元件缺陷檢測(cè)儀，適用于大口徑光學(xué)材料等高反高透超精密光滑表面的缺陷檢測(cè)和分析，檢測(cè)光學(xué)元件口徑最大可超過米級(jí)尺寸。

大口徑光學(xué)元件缺陷檢測(cè)儀

隨著超精密加工技術(shù)和精密鍍膜技術(shù)的發(fā)展，包括高精密光學(xué)元件、半導(dǎo)體晶圓在內(nèi)的超光滑表面元件的性能指標(biāo)不斷提升，超光滑表面元件的加工和使用都對(duì)缺陷檢測(cè)提出更高的要求。

大口徑光學(xué)元件缺陷檢測(cè)儀，適用于大口徑光學(xué)材料、半導(dǎo)體材料和金屬等材料拋光后的表面缺陷檢測(cè)和分析。本系統(tǒng)是一款非接觸式、全自動(dòng)的檢測(cè)儀器，能夠高速檢測(cè)待測(cè)表面的劃痕、麻點(diǎn)、臟污等特性。

大口徑光學(xué)元件缺陷檢測(cè)儀設(shè)備外觀

設(shè)備特點(diǎn)

1、缺陷數(shù)量檢測(cè)、缺陷位置測(cè)量、缺陷尺寸檢測(cè)；

2、亞微米至微米級(jí)缺陷；

3、檢測(cè)對(duì)象最大尺寸超過1米；

4、高檢出率、低漏檢率；

5、全自動(dòng)操作。

圖像采集分析軟件具有自動(dòng)變倍、自動(dòng)調(diào)焦、光強(qiáng)和CCD參數(shù)設(shè)置，具備系統(tǒng)初始化，圖像拼接、顯示、處理、保存、局部放大等功能，能夠?qū)Ρ砻鎿p傷狀況進(jìn)行顯示、分析并保存記錄。

強(qiáng)大的在線檢測(cè)系統(tǒng)能夠自動(dòng)獲取圖像并對(duì)其進(jìn)行后處理，獲取損傷的尺寸、位置、分布、變化等信息，可對(duì)光學(xué)元件表面的損傷進(jìn)行動(dòng)態(tài)跟蹤。

自研的“慧腦”深度學(xué)習(xí)平臺(tái)，通過對(duì)圖像數(shù)據(jù)擴(kuò)增處理，結(jié)合針對(duì)缺陷形態(tài)和紋理專門設(shè)計(jì)的檢測(cè)模型，可以實(shí)現(xiàn)對(duì)劃傷、異物、凹凸等缺陷的精準(zhǔn)檢測(cè)和準(zhǔn)確分類。